圖1 2022年(nián)交付的(de) 全自(zì)動SF6/N2 混φ ≤↔氣回收分(fēn)離(lí)裝置
圖2
圖3
圖4
SF6/N2 混氣回收分(fēn)離(lí)裝₹✔"®置
歡迎租賃歡迎試用(yòng),一(yī)見(jiàn)高(gāo)下ε☆™(xià);
完全有(yǒu)别于行(xíng)業(yè)常用(yòng€↕σ♣)的(de)膜分(fēn)離(lí)回收技(jì)術(shù),我公司自(zì)行(xíng)開(kāi)發的(de)“膜組+低(dī)溫提純”技(jì)術(shù)。低(dī)溫冷(lěng)凍為(wèi)主,膜分(fēn)離(lí)為(wèi)主。其優點在于:
無論何種比例的(de)SF6都(d©≤€↔ōu)能(néng)處理(lǐ),0-100%都(dōu)行(xíng)。
•純度保證,采用(yòng)低(dī)溫固化(huà)法,回收分(fēn)離(lí)後SF6純度≧99.99%以上(shàng)的(de)。
(注意:隻有(yǒu)純度99.99%的(de)SF6氣體≥σ(tǐ)才可(kě)以用(yòng)于混氣配氣循環使用(yòng))
●符合排放(fàng)要(yào)求:尾氣模組吸附,吸♣★附後排出SF6的(de)濃度≦100ppm。

設備參數(shù)
形式 | 無油活塞風(fēng)冷(lěng) | ||
理(lǐ)論排氣量 | m3/h | 30 | |
最大(dà)排氣壓力 | MPa | 5 | |
允許排氣壓力 | MPa | 4.5 | |
SF6壓縮機(jī) | 最小(xiǎo)允許吸氣壓力 | KPa | 53 |
(國(guó)産無油) | 最大(dà)允許吸氣壓力 | MPa | 0.5 |
最高(gāo)排氣溫度 | ℃ | 130 | |
功率 | KW | 11 | |
電(diàn)源 | 3Φ 380V 50Hz | ||
抽氣速率 | m3/h | 50 | |
負壓回收泵 | 極限真空(kōng) | Pa | ≤50 |
國(guó)産 | 潤滑油 | 無 | |
功率 | KW | 3 | |
電(diàn)源 | 3Φ 380V 50Hz | ||
數(shù)顯真空(kōng)計(jì) | 上(shàng)海(hǎi) | ||
閥門(mén) | 美(měi)國(guó)tony | ||
壓力傳感器(qì) | 上(shàng)海(hǎi) | ||
低(dī)溫模組 | 上(shàng)海(hǎi) | ||
灌瓶裝置 | 天津 | m3/h | 3 |
真空(kōng)泵 | 上(shàng)海(hǎi) | m3/h | 63 |
貯存容器(qì) | 蘇州 | M³ | 1(碳鋼) |
分(fēn)離(lí)容器(qì) | 蘇州 | M³ | 0.12(不(bù)鏽鋼) |
觸摸屏 | 國(guó)産 | 寸 | 18 |
遠(yuǎn)程控制(zhì)系統 | 國(guó)産 | 內(nèi)置遠(yuǎn)程控制(zhì)系統,可(kě)無線ε"§↔遠(yuǎn)程控制(zhì)和(hé)監管系統,可(kě)實現(xσ®★∏iàn)手機(jī),電(diàn)腦(nǎo)等操控 |

圖5 2021年(nián)交付的(de) 全自(zì)動S≤δ¶F6/N2混氣回收分(fēn)離(lí)裝置
目前市(shì)場(chǎng)上(shàng)常λ✘見(jiàn)的(de)SF6混氣回收分(fēn)離(lí)裝置一(yīφε<∑)般采用(yòng)進口膜組技(jì)術(shù)
我們在應用(yòng)中發現(xiàn)進口膜組技(jì)術(shù)具有(yǒu)以下<↓±(xià)緻命缺點:

以上(shàng)圖中可(kě)以看(kàn$≠±→)到(dào)直接采用(yòng)進口模組膜透←∑∑↕的(de)缺點:
第一(yī)流量必須穩定,不(bù)得(de)大(dà)于10m3/h。那<×✘♥(nà)就(jiù)得(de)用(yòng)一(yī)個(g<↓♣εè)高(gāo)等級的(de)流量計(jì)來(lái)®β"控制(zhì),流量計(jì)又(yòu)會(huì)受到(dào ÷)設備振動,環境溫度,氣體(tǐ)溫度,氣源壓力等多(duō)方<☆♦ 面影(yǐng)響,當産品被回收時(shí)內(n✔$¶èi)部壓力越來(lái)越低(dī),流量計(jì)Ω★₽就(jiù)要(yào)實時(shí)調整開(kāi)啓度,非常難以穩定的(de)控制®←±÷(zhì),而流量不(bù)穩定将導緻出口SF6純度不(bù)穩定、導緻氮氣排氣口的(¥→®de)SF6含量偏高(gāo)。甚至模組損壞!
第二壓力穩定,圖中可(kě)以看(kàn)出要(yào)求模組入口和(hé)SF6出口壓力均•€≈δ為(wèi)1.4Mpa,但(dàn)是(shì)壓縮機(jī)排氣壓力會(huì)有≥✘γ§(yǒu)波動,這(zhè)個(gè)很(hěn)難控制(zhì€π),另外(wài)模組3出口的(de)壓力也(yě)要(yào)裝一(↑ $yī)個(gè)手動控制(zhì)的(de)調節閥,通(tōng)過手動來↑>♠ (lái)控制(zhì)模組的(de)內(nèi)部壓力,非常₹™γ繁瑣,而且如(rú)果壓力控制(zhì)不(bù)好(hǎo)模組也(yě)¥♦容易損壞!
第三、溫度要(yào)求(要(yào)求40℃⼠1℃),那(nà)麽就(jiù)要(yào)加裝溫度₽控制(zhì)器(qì),那(nà)麽問(wèn)題又(yòu)來(lái)了(le),壓縮機(×&$jī)的(de)排氣溫度是(shì)随著(zhe)壓力變化(huàΩσ≠ )而變化(huà)的(de),也(yě)是(shì)随著(zhe)環境£ ↕溫度變化(huà)而變化(huà)的(de),夏天壓縮機(jī)排氣∏→♣≈溫度達到(dào)40℃以上(shàng),就(jiù)得(de)速度制(zσ★♦hì)冷(lěng),冬天就(jiù)可(kě)能(néng)不(bù)到(dào)40π≤©℃,還(hái)得(de)拼命升溫,這(zhè)個(gè)太複雜(zá)!
第四、對(duì)混合氣體(tǐ)的(d∏ <e)清潔度,含水(shuǐ)度等等氣源也(yě)有(yǒu)較高(gāo)的≥β∑↑(de)要(yào)求。
因此綜上(shàng)所訴,如(rú)果采用(yòng)直接膜透的(de)進口膜組的(deε≤)工(gōng)藝,有(yǒu)以下(xià)風(fēng)險:
1、不(bù)穩定、難伺候;對(duì)操作(zuò)人(rén)員(yuán)素質要( ₽yào)求極高(gāo)。
2、使用(yòng)成本極高(gāo);
3、設備不(bù)皮實,隻能(néng)是(shì)屬于實驗室級别,不(bù)能γ↑≠(néng)達到(dào)商品化(huà)的(de)級别;
4、設備不(bù)具備通(tōng)用(yòng♠♥)性,隻能(néng)回收混合氣體(tǐ),不(bù)能(néng)回收純氣,隻能(néng)>&"回收指定比例的(de)SF6混合氣體(tǐ);
5、如(rú)果要(yào)達到(dào)穩定的(•φ§σde)SF6出口高(gāo)純度,後級還(hái)是≤±(shì)要(yào)加低(dī)溫制(zhì)冷(lěng),重複投資$×≈ !
進口膜組的(de)技(jì)術(shù)狀态↕α,和(hé)我們SF6混合氣體(tǐ)分(fēn)離(lí)設備的(de)現(xiàn)狀相(xiàng)契×£合。
有(yǒu)個(gè)别的(de)樣機(jī);
尚無商業(yè)化(huà)應用(yòng);以下(xià)是(shì)我們交付設備的(de)一(yī)些(xiē)圖片和(hé→≈↓∑)視(shì)頻(pín)





液化(huà)灌鋼瓶
